
研磨液的應(yīng)用:藍(lán)寶石晶片
發(fā)布時間:
2019-01-25
來源:

藍(lán)寶石(a一Al2O3)是一種集優(yōu)良光學(xué)性能、物理性能和化學(xué)性能于一體的多功能氧化物晶體。
而作為金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)生長GaN的藍(lán)寶石襯底片,要求表面是超光滑、無損傷表面。目前超光滑表面是指:表面粗糙度小于1nm(RMS)的表面。無損傷表面是指:加工表面不能有加工變質(zhì)層,且表面晶格完整。
由于藍(lán)寶石硬度高(莫氏9.0)、脆性大,對其機(jī)械加工十分困難,無損傷超光滑表面制備技術(shù)更加復(fù)雜。研磨液在其加工過程中的應(yīng)用十分廣泛,不同研磨液對藍(lán)寶石的研磨效果不盡相同,而且研磨液對藍(lán)寶石晶體研磨效率的提升和表面質(zhì)量的改善具有一定良好反應(yīng)。
利用自銳性好、研磨速度快、加工精度高的研磨液進(jìn)行藍(lán)寶石晶片無損傷超光滑表面磨拋?zhàn)詈线m不過了。
以本公司應(yīng)用自主專利技術(shù)生產(chǎn)的立方碳化硅微粉(莫氏9.5~9.75)為原料制備生產(chǎn)的研磨液、拋光液,具有自銳性好、研磨速度快、加工精度高、表面質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)。適用于不銹鋼、銅、鋁、鑄鐵、藍(lán)寶石晶片、玻璃、陶瓷等材質(zhì)的研磨拋光,效果可與金剛石媲美,價格不及金剛石的十分之一,具有很高的性價比。
注:立方SiC晶體的等軸結(jié)構(gòu)特點(diǎn),使其比α-SiC、B4C、BN、BIN、金剛石等材料有更好的自然球度,在精密研拋方面有更好的磨削和拋光效果。

公司生產(chǎn)的研磨液、拋光液
公司研磨液、拋光液的制備工藝分別獲批了國家專利局授權(quán)的兩項(xiàng)發(fā)明專利:“一種納米拋光液的制備方法”,專利號:ZL201610703064.7和“一種懸浮型水性研磨液的制備方法”,專利號:ZL201610648321.1。
嚴(yán)格的粒度控制,粒度分布指標(biāo)優(yōu)于行業(yè)和國家標(biāo)準(zhǔn)。
經(jīng)提純工藝處理,雜質(zhì)含量可降到十萬分之一的數(shù)量級。
可按照用戶的具體要求定制粒度和濃度等配置。該產(chǎn)品目前已實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn),獲得了用戶的一致認(rèn)可。
部分內(nèi)容摘自:《藍(lán)寶石晶片納米級超光滑表面加工技術(shù)》